64-21140C 03-21140-06 / F 02-33632-06 / C ASM बोर्ड पीएलसी मॉड्यूल

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उत्पाद विवरण

Source materials include SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 and BBr3. स्रोत सामग्री में SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 और BBr3 शामिल हैं। Other doping material can अन्य डोपिंग सामग्री कर सकते हैं

यह भी नियंत्रित किया जाता है, बशर्ते कि वे सटीक के लिए पर्याप्त एकाग्रता के साथ वाष्पीकरण करें

ratiodetection. ratiodetection। Carrier gases include H2, He, N2, O2 and Ar. कैरियर गैसों में H2, He, N2, O2 और Ar शामिल हैं।

Three outputs are provided : Source (0 to +5VDC); तीन आउटपुट प्रदान किए जाते हैं: स्रोत (0 से + 5VDC); Carrier (0 to +5VDC); कैरियर (0 से + 5VDC); Ratio (0 to +5VDC). अनुपात (0 से + 5VDC)।

इन आउटपुट को 1000 की संवेदनशीलता के साथ किसी भी 5 वोल्ट डीसी वोल्टमीटर से मॉनिटर किया जा सकता है

ohms/volt or more. ओम / वोल्ट या अधिक। A built-in valve varies the carrier mass flow rate to control the source एक निर्मित वाल्व स्रोत को नियंत्रित करने के लिए वाहक द्रव्यमान प्रवाह दर को बदलता है

gram/min. ग्राम / मिनट। selected by an external control voltage. बाहरी नियंत्रण वोल्टेज द्वारा चयनित।

एक छोटे पैकेज में फ्लोमीटर अनुभाग, अनुपात डिटेक्टर, नियंत्रण वाल्व और होता है

इलेक्ट्रॉनिक्स।

COMMAND SETTING 0.1 से 5 vdc

बाहर संकेत

1. स्रोत: वाष्पशील तरल के द्रव्यमान प्रवाह दर के लिए 0.1-5 vdc रैखिक रूप से आनुपातिक

2. वाहक: वाहक गैस के द्रव्यमान प्रवाह दर के लिए 0.1-5 vdc रैखिक रूप से आनुपातिक
3. अनुपात: 0.1-5 vdc रैखिक प्रवाह के अनुपात में वाष्प प्रवाह (SCCM) से वाहक प्रवाह (SCCM) 5 vdc = 50% के साथ स्केल किया गया

ध्यान दें कि जब कोई बुदबुदाहट (यानी कोई नियंत्रण नहीं) अनुपात = 0 और कैरियर 5vdc (आमतौर पर 5.6 वोल्ट) से अधिक मूल्य तक पहुंच जाएगा।

OUTPUT महत्व: अधिकतम 10 ओम

तरंग: 50 mV पीपी अधिकतम

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